Bengkel mikro-elektronik kanthi area kamar resik sing relatif cilik lan radius saluran udara bali sing winates digunakake kanggo nggunakake skema udara bali sekunder saka sistem AC. Skema iki uga umum digunakake ingkamar resiking industri liyane kayata pharmaceuticals lan perawatan medis. Amarga volume ventilasi kanggo nyukupi syarat asor suhu kamar sing resik umume kurang saka volume ventilasi sing dibutuhake kanggo nggayuh tingkat kebersihan, mula bedane suhu antarane hawa sumber lan udara bali cilik. Yen rencana udhara bali utami digunakake, prabédan suhu antarane titik negara sumber udhara lan titik embun saka unit AC gedhe, dadi panas secondary dibutuhake, asil ing kadhemen nutup kerugian panas ing proses perawatan online lan konsumsi energi liyane. . Yen skema udara bali sekunder digunakake, udara bali sekunder bisa digunakake kanggo ngganti pemanasan sekunder skema udara bali primer. Senajan imbuhan saka rasio udhara bali utami lan secondary rada kurang sensitif saka imbuhan saka panas secondary, rencana udhara bali secondary wis digunakake dikenali minangka air conditioning ukuran nyimpen energi ing cilik lan medium-ukuran mikro-elektronik bengkel resik. .
Njupuk bengkel resik mikroelektronik kelas ISO 6 minangka conto, area bengkel resik 1 000 m2, dhuwur langit-langit 3 m. Parameter desain interior yaiku suhu tn= (23±1) ℃, kelembapan relatif φn=50%±5%; Volume pasokan udara desain yaiku 171.000 m3 / jam, kira-kira 57 h-1 kaping ijol-ijolan udara, lan volume udara seger yaiku 25.500 m3 / jam (kang volume udara exhaust proses yaiku 21.000 m3 / jam, lan liyane yaiku volume udara bocor tekanan positif). Beban panas sing wicaksana ing bengkel sing resik yaiku 258 kW (258 W / m2), rasio panas / asor AC yaiku ε = 35 000 kJ / kg, lan bedane suhu udara bali kamar yaiku 4,5 ℃. Ing wektu iki, volume udara bali utami saka
Iki saiki wangun sing paling umum digunakake saka sistem air conditioning dimurnèkaké ing kamar resik industri microelectronics, jinis sistem iki bisa utamané dipérang dadi telung jinis: AHU + FFU; MAU+AHU+FFU; MAU + DC (koil garing) + FFU. Saben nduweni kaluwihan lan cacat lan panggonan sing cocok, efek hemat energi utamane gumantung marang kinerja filter lan penggemar lan peralatan liyane.
1) Sistem AHU+FFU.
Mode sistem jinis iki digunakake ing industri mikroelektronik minangka "cara misahake AC lan fase purifikasi". Bisa uga ana rong kahanan: siji yaiku sistem AC mung ngurusi udhara seger, lan udhara seger sing diolah nanggung kabeh beban panas lan kelembapan ruangan sing resik lan minangka tambahan udara kanggo ngimbangi hawa exhaust lan bocor tekanan positif. saka kamar resik, sistem iki uga disebut sistem MAU + FFU; Liyane iku volume udhara seger piyambak ora cukup kanggo nyukupi kabutuhan mbukak kadhemen lan panas saka kamar resik, utawa amarga udhara seger diproses saka negara njaba kanggo titik ebun prabédan enthalpy tartamtu saka mesin dibutuhake gedhe banget. , lan bagean saka udhara njero ruangan (padha karo udhara bali) bali menyang unit perawatan AC, dicampur karo hawa seger kanggo perawatan panas lan asor, banjur dikirim menyang plenum pasokan udara. Campuran karo udhara bali kamar resik isih (padha karo udhara bali secondary), lumebu unit FFU lan banjur dikirim menyang kamar resik. Saka 1992 nganti 1994, penulis kapindho saka kertas iki kerja sama karo perusahaan Singapura lan mimpin luwih saka 10 siswa lulusan kanggo melu ing desain US-Hong Kong joint venture SAE Electronics Factory, kang diadopsi jinis terakhir saka pemurnian air conditioning lan sistem ventilasi. Proyèk iki duwé kamar resik Kelas 5 ISO sing jembaré kurang luwih 6.000 m2 (1.500 m2 sing dikontrak déning Badan Atmosfer Jepang). Kamar AC disusun sejajar karo sisih kamar sing resik ing tembok njaba, lan mung ana ing koridor. Udhara seger, hawa knalpot lan pipa udara bali cendhak lan disusun kanthi lancar.
2) skema MAU+AHU+FFU.
Solusi iki umume ditemokake ing tanduran mikroelektronik kanthi macem-macem syarat suhu lan kelembapan lan bedane beban panas lan kelembapan, lan tingkat kebersihan uga dhuwur. Ing mangsa panas, udhara seger digawe adhem lan dehumidified menyang titik parameter tetep. Biasane cocok kanggo nambani udhara seger menyang titik persimpangan saka garis entalpi isometrik lan garis kelembapan relatif 95% saka kamar sing resik kanthi suhu lan kelembapan sing wakil utawa kamar sing resik kanthi volume udara seger sing paling gedhe. Volume udara MAU ditemtokake miturut kabutuhan saben kamar sing resik kanggo ngisi maneh hawa, lan disebarake menyang AHU saben kamar sing resik kanthi pipa miturut volume hawa seger sing dibutuhake, lan dicampur karo sawetara hawa bali njero ruangan kanggo panas. lan perawatan asor. Unit iki nanggung kabeh beban panas lan asor lan bagean saka beban rematik anyar saka kamar resik sing dilayani. Udhara sing diolah dening saben AHU dikirim menyang plenum udara pasokan ing saben kamar sing resik, lan sawise campuran sekunder karo udara bali njero ruangan, dikirim menyang kamar dening unit FFU.
Kauntungan utama saka solusi MAU + AHU + FFU yaiku saliyane kanggo njamin kebersihan lan tekanan positif, uga njamin suhu sing beda lan kelembapan relatif sing dibutuhake kanggo produksi saben proses kamar sing resik. Nanging, asring amarga nomer AHU nyetel, Occupy area kamar gedhe, kamar resik udhara seger, udara bali, air supply pipelines crisscross, Occupy papan gedhe, tata letak luwih troublesome, pangopènan lan manajemen luwih angel. lan Komplek, mulane, ora syarat khusus minangka adoh sabisa supaya nggunakake.
Wektu kirim: Mar-26-2024